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            “中國芯”關鍵材料國產化

            磷烷安全源(PH? AGS)
            • 中文名:磷烷安全源
            • 英文名:Phosphine AGS
            • CAS號:7803-51-2
            • 熔點:-133℃
            • 沸點:-87.7℃
            • 蒸氣壓:53.32kpa(-98.3℃)
            • 產品等級:5N7
            • 規格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
            砷化氫(AsH?)
            • 中文名:砷化氫
            • 英文名:Arsine
            • CAS號:07784-42-1
            • 熔點:-116℃
            • 沸點:-62.5℃
            • 蒸氣壓:1463kPa(20℃)
            • 產品等級:6N、6N5
            • 規格:40L
            三氟化硼安全源(BF? AGS)
            • 中文名:三氟化硼安全源
            • 英文名:Boron Trifluoride AGS
            • CAS號:07784-42-1
            • 熔點:-126.8℃
            • 沸點:-100℃
            • 蒸氣壓:1013.25kPa(-58℃)
            • 產品等級:3N
            • 規格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
            磷化氫(PH?)
            • 中文名:磷化氫
            • 英文名:Phosphine
            • CAS號:7803-51-2
            • 熔點:-133℃
            • 沸點:-87.7℃
            • 蒸氣壓:53.32kpa(-98.3℃)
            • 產品等級:6N、6N5
            • 規格:44L
            安全源砷烷(AsH? AGS)
            • 中文名:砷烷安全源
            • 英文名:Arsine AGS
            • CAS號:07784-42-1
            • 熔點:-116℃
            • 沸點:-62.5℃
            • 蒸氣壓:1463kPa(20℃)
            • 產品等級:5N5
            • 規格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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